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在镀膜设备中蒸发镀膜和溅射镀膜的不同之处

时间:2024-02-27     作者:真空镀膜机厂家 来源:http://www.lk-bt.com/

在镀膜设备中,蒸发镀膜和溅射镀膜是两种常见的镀膜方式,它们在原理、操作和应用方面存在一些不同之处。


1. 镀膜原理:

   - 蒸发镀膜: 蒸发镀膜是将固态材料(通常是金属)加热至其蒸汽压力达到一定水平,然后使其蒸发并沉积在基材表面上的一种方法。蒸发源中的材料通过加热后形成蒸汽,然后沉积在基材表面上形成薄膜。

   - 溅射镀膜: 溅射镀膜是通过将惰性气体离子轰击材料靶,使靶材溅射到基材表面上形成薄膜的一种方法。在真空环境中,通过施加高电压,离子加速器将惰性气体离子加速,击中靶材表面,使其溅射到基材表面上形成薄膜。


2. 操作方法:

   - 蒸发镀膜: 蒸发镀膜通常涉及将固态材料加热至其蒸汽压力达到一定水平,然后蒸发并沉积在基材表面上。加热源通常是电阻加热或电子束加热。

   - 溅射镀膜: 溅射镀膜涉及在真空环境中施加高电压,使惰性气体离子轰击材料靶,使其溅射到基材表面上形成薄膜。通常有直流溅射和射频溅射两种形式。


3. 薄膜特性:

   - 蒸发镀膜: 蒸发镀膜的薄膜通常具有较高的致密性和光学性能,适用于金属、合金等材料的沉积。

   - 溅射镀膜: 溅射镀膜的薄膜通常具有较好的均匀性和附着力,可用于制备复杂结构和多层薄膜。


4. 应用领域:

   - 蒸发镀膜: 蒸发镀膜适用于金属、合金等材料的沉积,常用于光学镀膜、金属镀膜等领域。

   - 溅射镀膜: 溅射镀膜适用于多种材料的沉积,包括金属、合金、氧化物、氮化物等,常用于制备复杂结构和多层薄膜,如光学薄膜、电子器件等领域。


总的来说,蒸发镀膜和溅射镀膜在镀膜原理、操作方法、薄膜特性和应用领域上存在一些不同之处,根据具体的应用需求和材料特性选择合适的镀膜方式非常重要。


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